بستر SrTiO3
شرح
تک کریستال SrTiO3 دارای ساختار شبکه خوبی از مواد ساختار پروسکایت است.این یک ماده بستر عالی برای رشد اپیتاکسی HTS و اکثر فیلمهای اکسیدی است.این به طور گسترده ای در تحقیقات لایه های نازک ابررسانا با دمای بالا استفاده شده است.همچنین به طور گسترده در پنجره های نوری خاص و اهداف کندوپاش با کیفیت بالا استفاده می شود.
خواص
جهت: (100) +/-0.5 درجه
نشانگر جهت گیری لبه: <001> +/-2 درجه به عنوان گزینه با هزینه اضافی در دسترس است
پولیش: EPI یک طرفه با تکنولوژی CMP با آسیب کمتر شبکه زیر سطحی پرداخت شده است.
بسته بندی: بسته بندی شده در کیسه پلاستیکی 100 درجه زیر اتاق تمیز کلاس 1000.
ساختار کریستالی | مکعب، a=3.905 A |
روش رشد | ورنویل |
چگالی (g/cm3) | 5.175 |
نقطه ذوب (℃) | 2080 |
سختی (Mho) | 6 |
انبساط حرارتی | 10.4 (x10-6/ ℃) |
ثابت دی الکتریک | ~ 300 |
مماس از دست دادن در 10 گیگاهرتز | ~5x10-4@ 300K، ~3x10-4@77K |
رنگ و ظاهر | شفاف (بر اساس شرایط بازپخت گاهی اوقات کمی قهوه ای رنگ) بدون دوقلو |
پایداری شیمیایی | نامحلول در آب |
تعریف بستر SrTiO3
بستر SrTiO3 به یک بستر کریستالی ساخته شده از ترکیب تیتانات استرانسیم (SrTiO3) اشاره دارد.SrTiO3 یک ماده پروسکایت با ساختار کریستالی مکعبی است که با ثابت دی الکتریک بالا، پایداری حرارتی بالا و تطابق شبکه خوب با بسیاری از مواد دیگر مشخص می شود.
بسترهای SrTiO3 به طور گسترده در زمینه های رسوب لایه نازک و رشد اپیتاکسیال استفاده می شود.ساختار مکعبی SrTiO3 امکان رشد لایه های نازک با کیفیت بالا با کیفیت کریستالی عالی و چگالی نقص کم را فراهم می کند.این باعث می شود که بسترهای SrTiO3 برای رشد لایه های همپایه و ساختارهای ناهمسان برای کاربردهای مختلف بسیار مناسب باشند.
ثابت دی الکتریک بالای SrTiO3 آن را برای کاربردهایی مانند خازن ها، دستگاه های حافظه و لایه های نازک فروالکتریک مناسب می کند.پایداری حرارتی آن را برای کاربردهای دمای بالا مناسب می کند.
علاوه بر این، ویژگیهای متنوع SrTiO3، مانند رسانایی فلزی آن در دماهای پایین و امکان القای حالت ابررسانا، آن را برای تحقیقات فیزیک ماده متراکم و توسعه دستگاههای الکترونیکی و اپتوالکترونیکی مفید میسازد.
به طور خلاصه، بسترهای SrTiO3، بسترهای کریستالی ساخته شده از تیتانات استرانسیم هستند که به دلیل ثابت دی الکتریک بالا، پایداری حرارتی و خواص تطبیق شبکه خوب، معمولاً در رسوب لایه نازک، رشد اپیتاکسیال و طیف وسیعی از کاربردهای الکترونیکی و اپتوالکترونیکی استفاده می شوند.